膜厚計の測定が不正確になる5つの理由
(1) 強い磁界干渉。 私たちは簡単な実験を行った結果、デバイスが約 10,000 V の電磁界の近くで動作すると、測定値が大幅に改ざんされることがわかりました。電磁界に非常に近い場合、クラッシュ現象が発生する可能性があります。 。
(2) 人間的要素。 このシナリオは新規ユーザーに頻繁に発生します。 磁束の小さな変化をデジタル信号に変換する膜厚計の機能により、膜厚をミクロンレベルまで測定できます。 測定器の測定中に使用者が測定器に不慣れな場合、プローブが被測定体から外れる可能性があります。 これにより磁束が変化し、不正確な測定が行われます。 したがって、初めて機器を使用するときは、ユーザーや友人が最初に測定技術を習得することをお勧めします。測定はプローブの位置によって大きく影響されます。 プローブは、読み取り中ずっとサンプルの表面に対して平行を保つ必要があります。 さらに、マトリックスの磁場との干渉を避けるために、プローブを所定の位置に長時間放置しないでください。
(3) システムのテスト中に、間違った基板が選択されませんでした。 基板の最小幅は 0.2mm、最小平面は 7mm である必要があります。 このしきい値を下回る測定は正確ではありません。
(4) 接続されている物質の影響。 このデバイスは付着する物質に敏感で、プローブがオーバーレイ表面に近づくのを妨げます。 プローブが被覆層の表面に直接接触していることを保証するには、付着した物質を取り除く必要があります。 さらに、システムキャリブレーションを行う場合、選択した基板の表面は裸で滑らかでなければなりません。
(5) ツールが誤動作する。 専門家に相談したり、工場で機械の修理を依頼したりできるようになりました。
測定プロセス中に測定データに明らかな不一致が時々現れるのはなぜですか?
プローブの位置が間違っていたり、外部の干渉要因の影響を受けたりした結果、測定データが大幅に大きくなる場合があります。 この時点でデータ統計を入力しないようにするには、CAL キーを押し続けてデータをクリアします。
