膜厚計の測定値の誤りには、さまざまな要因が考えられます。
膜厚計の誤測定の主な原因は以下のとおりです。
(1) 強力な磁界干渉 簡単な実験を行った結果、機器が約 10,000 V の電磁界の近くで動作すると、測定値が大幅に改ざんされることがわかりました。電磁場に非常に近いです。
(2) 人間的要素。 この状況は新規ユーザーに頻繁に発生します。 膜厚計は磁束のわずかな変化をデジタル信号に変換する機能により、膜厚をミクロンレベルまで測定できます。 ユーザーが機器に不慣れな場合、測定手順中にプローブが検査対象の身体から外れる可能性があります。 これにより磁束が変化し、不正確な測定が行われます。 したがって、初めて機器を使用するときは、ユーザーや友人が最初に測定手順を理解することをお勧めします。測定はプローブの位置によって大きく影響されます。 プローブは、測定中ずっとサンプルの表面に対して平行を保つ必要があります。 さらに、マトリックスの磁場の干渉を避けるために、プローブを所定の位置に長時間放置しないでください。
(3) システムのキャリブレーション中に、間違った基板が選択されませんでした。 基板の最小厚さは 0.2mm、最小平面は 7mm である必要があります。 このしきい値を下回る測定は正確ではありません。
(4) 結合している化合物の影響。 このデバイスは、付着してプローブがオーバーレイ表面に近づくのを妨げる化学薬品に敏感です。 プローブが被覆層の表面に直接接触していることを保証するには、付着した物質を取り除く必要があります。 さらに、システム キャリブレーションを実行するには、選択した基板の表面が裸で滑らかである必要があります。
(5) ツールが誤動作する。 専門家に相談したり、工場で機械の修理を依頼したりできるようになりました。
測定プロセス中に測定結果に明らかな差異が現れることがあるのはなぜですか?
プローブの位置が間違っていたり、外部の干渉源の影響を受けたりした結果、測定データが大幅に大きくなる場合があります。 この時点でデータ統計を入力しないようにするには、CAL キーを押したままにしてデータをクリアします。
