走査型電子顕微鏡の利点
1.倍率
走査電子顕微鏡の蛍光スクリーンのサイズは固定されているため、倍率の変更は、サンプル表面上の電子ビームの走査振幅を変更することによって実現されます。
走査コイルの電流を小さくすると、試料上での電子線の走査振幅が小さくなり、増幅率が大きくなります。 調整は非常に便利で、20倍から約20万回まで連続調整可能です。
2. 解決策
解像度は走査型電子顕微鏡の主な性能指標です。
分解能は、入射電子ビームの直径と変調信号の種類によって決まります。
電子ビームの直径が小さいほど、分解能は高くなります。
イメージングに使用される物理信号の解像度はさまざまです。
たとえば、SE 電子と BE 電子は、サンプル表面上で異なる発光範囲と分解能を持ちます。 SE の解像度は通常約 5-10nm ですが、BE の解像度は約 50-200nm です。
3. 被写界深度
これは、凹凸のあるサンプルのさまざまな部分に同時に焦点を合わせて画像化するレンズの能力範囲を指します。
走査型電子顕微鏡の最終レンズは、小さな開口角と長い焦点距離を使用するため、大きな被写界深度を得ることができます。 一般的な光学顕微鏡の被写界深度の100-500倍、透過型電子顕微鏡の被写界深度の10倍です。
SEM の大きな特徴は、深い被写界深度、強い立体感、リアルな形態です。
走査型電子顕微鏡検査に使用されるサンプルは、次の 2 つのカテゴリに分類されます。
１は、良好な導電性を有するサンプルであり、通常、元の形状を維持することができ、若干の洗浄を行わなくても、または若干の洗浄を行っても、電子顕微鏡で観察することができる。
2 は非導電性のサンプル、または真空中で水分の損失、ガスの放出、または収縮変形が発生したサンプルであり、観察を行う前に適切に処理する必要があります。
