原子間力顕微鏡 (AFM) システムの構造
1. 力検出部：
原子間力顕微鏡 (AFM) のシステムでは、検出される力は原子間のファンデルワールス力です。したがって、このシステムでは、カンチレバーを使用して原子間の力の変化を検出します。このマイクロカンチレバーには、長さ、幅、弾性係数、針先の形状などの仕様があり、これらの仕様の選択は、サンプルの特性や動作モードの違いに基づいて行われ、プローブの種類も異なります。
2 位置検出部：
原子間力顕微鏡 (AFM) のシステムでは、針先とサンプルの間に相互作用があると、カンチレバーが揺れます。そのため、カンチレバーの先端にレーザーを照射すると、カンチレバーの揺動により反射光の位置も変化し、オフセットが発生します。システム全体では、レーザー スポット位置検出器を使用してオフセットを記録し、SPM コントローラーによる信号処理のために電気信号に変換します。
3 フィードバック システム:
原子間力顕微鏡（AFM）システムでは、信号はレーザー検出器で取り込まれた後、内部調整信号としてフィードバックシステムのフィードバック信号として使用され、通常は圧電セラミックチューブで作られたスキャナーを駆動して移動します。サンプルと針先の間に適切な力を維持するために適切に調整してください。
原子間力顕微鏡 (AFM) は、上記の 3 つの部分を組み合わせてサンプルの表面特性を表示します。AFM システムでは、針先とサンプルの間の相互作用を感知するために小さなカンチレバーが使用されます。この力によってカンチレバーが揺れ、カンチレバーの端にレーザーが照射されます。スイングが形成されると反射光の位置が変化し、オフセットが発生します。このとき、レーザー検出器はこのオフセットを記録し、システムの適切な調整を容易にするために、この時点での信号をフィードバック システムに提供します。最後に、サンプルの表面特性を画像として表示します。
