膜厚計の温度補償測定方法
膜厚計の温度補償測定方法には、温度係数校正、電源投入時ゼロ校正、膜厚測定のステップが含まれており、最後に実際の膜厚dxの値を計算します。 インダクタンスコイルの電磁界変化と温度の相関関係を利用し、測定過程で一度無限端の値を測定し、無限端の温度変化係数は温度変化係数に比例します。測定プローブを被測定物基板に近づけて測定した場合。 この特性を利用して温度補償を実現することで、温度測定誤差を極力減らすことができます。 この方法の測定誤差は基本的に 1% 以内に抑えることができますが、現在の国家基準では 3% 以内が要求されています。 比較すると、この方法の測定誤差は 1% 以内に制御できます。 測定精度は国際ブランドの機械の測定精度に達しており、中国では依然として非常に高いレベルにあります。
