ツール顕微鏡の構築と決定
1. 小型工具顕微鏡
精密クロス移動テーブルと観察顕微鏡で構成されています。小型工具顕微鏡です。使いやすい設計で、支柱が傾くことはありません。照明装置もシンプルです。簡単でありながら、多くの付属品に匹敵します。接続すると、さまざまな測定タスクを追加できます。
2. 大型工具顕微鏡
回転作業台は精密十字型移動ステージと観察顕微鏡を一体化して構成されています。透過照明装置は遠心照明を採用しています。支柱と作業台は一体化しており、左右に傾けることができるため、ねじ測定に大変便利です。目視観察部には投影画像を観察するための投影装置が装備されています。
ツール顕微鏡測定
1. 直交座標測定
測定する場合、測定対象物の直交座標方向と十字テーブルの移動方向が一致していなければ測定できません。直交座標測定を使用する場合、十字移動テーブルの移動量から直交座標値を直接読み取ることができます。大型工具顕微鏡の場合は、照準穴上の画像直交座標測定を使用して観察眼を接続し、正しく測定できます。また、物体の直角を測定するときに座標方向と十字移動テーブルを修正する場合は、大型工具顕微鏡に取り付けられた組み立てられた回転テーブルを使用すると非常に便利です。小型工具顕微鏡の場合は、回転テーブルのみが取り付けられています。
2. 角度測定
回転台や角度観察レンズを使用して測定できます。一般的に角度観察レンズの方が精度が優れています。
3. 高さ測定
小型工具顕微鏡では高さを測ることはできませんが、支持台の上端に測定器を取り付け、顕微鏡を上下に動かして高さを測ることができます。しかし、焦点深度の誤差、支持台の傾き、ゲージと光軸の誤差などにより、正確な測定は非常に困難です。
4. 細孔径測定
測定には一般的に角度観察レンズが使用されますが、大型工具顕微鏡の場合は、重ね合わせ画像観察レンズまたは光学検出器を使用できます。つまり、重ね合わせ画像レンズを使用して、生成された2つの画像を重ね合わせ、反対側でも同じことを行います。したがって、移動量は穴の内径を表示します。光学検出器を使用する場合は、まず3倍の対物レンズに取り付け、次に検出器と作業台の移動方向を合わせ、次に観察ミラーの重なり線が観察レンズの十字線と平行になるように調整します。測定要素を穴の表面に接触させます。最後に、Y軸の送りを使用して重なり線の逆方向の動きを修正し、X軸の送りを使用して重なり線が観察レンズの10本のサブラインをクランプするようにして、X軸の測定値を読み取ることができます。反対側の穴についても同様であるため、読み取り値の差と検出器の直径を使用して穴の内径を取得できます。
