共焦点顕微鏡と蛍光顕微鏡の違い
蛍光顕微鏡は主に生物学分野や医学研究で使用され、細胞や組織の内部微細構造の蛍光画像を取得したり、Ca2+、PH値、膜電位などの生理学的シグナルや細胞内レベルでの細胞形態の変化を観察したり、形態学、分子生物学、神経科学、薬理学、遺伝学などの分野における新世代の強力な研究ツールです
共焦点顕微鏡は、共焦点技術の原理に基づいて、さまざまな精密デバイスや材料の表面をミクロ、ナノレベルで測定する検査装置です。
材料科学の目標は、材料の表面構造がその表面特性に及ぼす影響を研究することです。 したがって、表面形態の高解像度分析は、表面粗さ、反射特性、トライボロジー特性、表面品質などの関連パラメータを決定する上で非常に重要です。 共焦点技術により、表面反射特性を持つさまざまな材料を測定し、有効な測定データを得ることができます。
共焦点顕微鏡は、共焦点顕微鏡技術に基づいており、高精度のZスキャンモジュール、3Dモデリングアルゴリズムなどと組み合わせて、デバイス表面の非接触スキャンを実行し、表面の3D画像を確立して、デバイス表面トポグラフィーの3D測定を実現します。 材料製造試験分野では、さまざまな製品・部品・材料の表面形状、表面欠陥、摩耗、腐食、平坦度、粗さ、うねり、気孔隙間、段差などの表面形態特性を測定・解析することができます。 、曲げ変形、加工条件など。
応用
1.MEMS
ミクロンおよびサブミクロンレベルの部品の寸法測定、各種プロセス（現像、エッチング、メタライゼーション、CVD、PVD、CMPなど）後の表面形態観察および欠陥解析。
2. 精密機械部品・電子機器
ミクロン、サブミクロンレベルの部品の寸法測定、各種表面処理工程、溶接工程後の表面形態観察、欠陥解析、粒子解析。
3. 半導体・液晶
各種プロセス（現像、エッチング、メタライゼーション、CVD、PVD、CMPなど）後の表面形態観察、欠陥解析、線幅、段差深さなどの非接触測定。
4. トライボロジーや腐食などの表面工学
摩耗痕の体積測定、粗さ測定、表面形態、腐食、およびサブミクロンの表面処理後の表面形態。
