電子と物質の相互作用は、走査型電子顕微鏡製造の基礎です。 二次電子、オージェ電子、特性 X 線と連続体 X 線、後方散乱電子、透過電子、および可視、紫外、赤外範囲の電磁放射はすべて、高エネルギーの入射電子ビームが表面に衝突するときに生成されます。案件。 格子振動 (フォノン)、電子振動 (プラズマ)、および電子-正孔ペアはすべて同時に生成できます。 理論的には、形状、組成、結晶構造、電子構造、内部電場または磁場など、サンプル自体のいくつかの物理的および化学的特性は、電子と物質の間の相互作用を利用することによって決定できます。
サンプルの表面に特定のエネルギー、強度、およびスポット径を持つ電子ビームを作成するために、電子キャノンは最大 30 keV のエネルギーを持つ電子ビームを放出し、収束レンズと対物レンズによって縮小され、集束されます。 . 入射電子ビームは、走査コイルの磁場の影響下で、特定の時間と空間でサンプルの表面を点ごとに走査します。 二次電子は、入射電子がサンプルの表面に接触した結果として、サンプルの電子部品から励起されます。 二次電子コレクタの機能により、あらゆる方向に放出される二次電子を捕捉できます。
次に、加速電極によってシンチレータに送られ、光信号に変換された後、光パイプを下って光電子増倍管に移動し、光信号の別の変換が行われます。 電気信号を送信します。 この電気信号をビデオアンプで増幅し、受像管のグリッドに供給して明るさを調整し、蛍光板に試料表面のゆらぎを反映した二次電子像を表示します。
磁気レンズイメージングを用いて一挙に終了するTEMイメージングとは、イメージングプロセスが全く異なります。
電子光学系、走査系、信号検出系、表示系、電源、真空系が走査型電子顕微鏡の大部分を占めています。 グラフィックは、その構造の概略図を示しています。 接着試験では、走査型電子顕微鏡が最も頻繁に利用されます。
