渦電流式膜厚計の動作原理
渦電流式膜厚計の動作原理は、測定ヘッドが試験サンプルに接触すると、測定ヘッド装置によって生成される高周波電磁場により、測定ヘッドの下に配置された金属導体に渦電流が発生するというものです。渦電流の振幅と位相は、導体と測定ヘッドの間の非導電性コーティングの厚さの関数です。渦電流によって生成される交流電磁場は、測定ヘッドのパラメータと、測定ヘッドの可変パラメータの大きさを変化させます。測定ヘッドを変換および処理して、測定するコーティングの厚さを取得できます。
測定精度に影響を与える理由
（１）被覆層の厚さが２５μｍより大きい場合、誤差は被覆層の厚さにほぼ比例する。
(2) 卑金属の導電率は、卑金属材料の組成と熱処理方法に関連して測定に影響します。
(3) どの厚さゲージも母材の臨界厚さを必要とします。これ以上の厚みの場合に限り、母材の厚みの影響を受けずに測定できます。
(4) 渦電流膜厚計はパターン測定にエッジ効果を及ぼします。つまり、パターンのエッジまたは内側のコーナー付近の測定は信頼性が低くなります。
(5) サンプルの曲率は測定に影響を与えます。曲率半径が小さくなると、その影響は大幅に大きくなります。
(6) 母材や被覆層の表面粗さは測定精度に影響を与え、粗さが大きくなると影響も大きくなります。
(7) 渦電流膜厚計は、測定ヘッドと被覆層の表面との密着を妨げる付着物質に敏感です。したがって、測定前に測定ヘッドおよび被覆層表面の汚れを除去する必要があります。測定中、プローブは試験面に対して一定の圧力で垂直に接触する必要があります。
