共焦点光学顕微鏡のいくつかの特徴
高コントラスト、高解像度
従来の光学顕微鏡では、焦点外の部分からの反射光が焦点の結像部分と重なって干渉し、画像コントラストが低下します。一方、共焦点光学系では、焦点外と対物レンズ内の散乱光がほぼ除去されるため、非常にコントラストの高い画像が得られます。また、対物レンズを2回通過するため顕微鏡の分解能が向上し、点像が鮮明になります。
光学的位置特定機能
共焦点光学系では、焦点以外の点では微小開口によって反射光が遮られるため、立体的なサンプルを観察すると、あたかも焦点でサンプルをスライスしたような像が形成され、この効果は光局在化と呼ばれ、共焦点光学系の特徴の一つとなっています。
フォーカスシフトメモリ機能
焦点以外の反射光はマイクロビアによって遮断されるため、共焦点光学系で作成した画像上のすべての点は焦点と一致しているとみなすことができます。ステレオサンプルをZ軸（光軸）方向に移動させ、画像をメモリに蓄積することで、サンプルのすべての点が焦点と一致した画像が得られます。このように焦点深度を無限に深くする機能を移動メモリ機能と呼びます。
表面形状測定機能
フォーカスシフト機能に表面高さ記録回路を追加することで、非接触でサンプルの表面形状を計測することができます。この機能により、各ピクセルの最大輝度値のZ軸座標を記録し、この情報をもとにサンプルの表面形状の情報を得ることができます。
高精度微小寸法測定機能
受光部に1D CCDイメージセンサを採用し、スキャナの走査傾きの影響を受けずに高精度な計測が可能です。また、焦点深度（深め具合）を調整できるフォーカスシフトメモリ機能により、フォーカスシフトによる計測誤差を排除できます。
