デュアルビーム顕微鏡で使用される機器は、主に表面粗さを測定するために使用されます。 また、透明および半透明のオーバーレイ、特にアルミニウム上の陽極酸化膜の厚さを測定するためにも使用できます。
この装置は、オーバーレイの表面に 45 度の入射角でビームを照射することによって機能し、ビームの一部はオーバーレイの表面から反射されます。 別の部分がカバーを貫通し、カバーと基板の境界面から反射します。 顕微鏡の接眼レンズから 2 つの別々の画像を見ることができます。距離はオーバーレイの厚さに比例し、スケール コントロール ノブを調整することで距離を測定できます。
この方法は、顕微鏡で鮮明な画像を得るのに十分な光がコーティングと基板の界面で反射される場合にのみ使用できます。
陽極酸化膜などの透明または半透明のオーバーレイの場合、この方法は非破壊的です。 不透明なカバー層の厚さを測定するには、カバー層の小片を除去する必要があります。これにより、カバー層の表面と基板の間に光ビームを屈折できる段差が形成されるため、絶対値が得られます。カバー層の厚さを測定できます。 この場合、メソッドは破壊的テスト メソッドです。
通常、2 ビーム顕微鏡の測定誤差は 10% 未満です。
