走査型電子顕微鏡の種類と特徴
さまざまな種類の走査型電子顕微鏡があり、さまざまな種類の走査型電子顕微鏡には性能の違いがあります。電子ガンの種類によると、電界放射電子ガン、タングステンワイヤーガン、およびヘキサボリドランタヌムの3つのタイプに分けることができます。その中で、電界発光走査型電子顕微鏡は、光源の性能に基づいて、冷間発光走査型電子顕微鏡と高温磁場排出スキャン電子顕微鏡に分けることができます。冷間排出走査型電子顕微鏡には、高い真空条件、不安定なビーム電流、短いエミッター寿命が必要であり、単一画像観測に限定され、アプリケーション範囲が限られている針先の定期的な洗浄が必要です。熱場発光走査型電子顕微鏡は、長い連続時間をとるだけでなく、さまざまなアクセサリーと組み合わせて包括的な分析を実現することもできます。地質学の分野では、サンプルの予備的な形態を観察するだけでなく、分析装置と組み合わせてサンプルの他の特性を分析する必要があるため、熱電場排出走査型電子顕微鏡の適用がより広範です。
走査型電子顕微鏡は顕微鏡ファミリーの新人ですが、その多くの利点により、その開発速度は非常に高速です。
この機器は高解像度を持ち、二次電子イメージングを介してサンプルの表面に約6nmの詳細を観察できます。 Lab6電子ガンを使用することにより、さらに3nmに改善できます。
この機器には幅広い倍率の変化があり、継続的に調整できます。したがって、必要に応じて観測のためにさまざまなサイズの視野を選択でき、一般的な透過型電子顕微鏡で達成が困難な高輝度のクリア画像も高倍率で得ることができます。
フィールドの深さとサンプルの視野は大きく、画像は3次元の意味で豊富です。サンプルの大きなうねりと不均一な金属骨折画像を備えた粗い表面を直接観察することができ、微視的な世界に存在する感覚を人々に与えます。
4つのサンプルの準備は簡単です。ブロックまたは粉末のサンプルがわずかに処理または処理されていない限り、それらは、物質の天然状態に近い走査型電子顕微鏡で直接観察できます。
5.画像の品質は、輝度とコントラストの自動メンテナンス、サンプルの傾斜角の修正、画像回転、Y変調による画像の耐性の改善、および画像のさまざまな部分の中程度の明るさと闇など、電子的方法を通じて効果的に制御および改善できます。二重倍率デバイスまたは画像セレクターを使用することにより、蛍光スクリーンで異なる倍率のある画像を同時に観察できます。
6は包括的な分析を受けることができます。波長分散型X線分光計（WDX）またはエネルギー分散型X線分光計（EDX）を取り付けて、電子プローブとして機能し、反射電子、X線、カソドルミネセンス、透過電子、オーガー電子などを検出します。走査型電子顕微鏡の適用をさまざまな顕微鏡およびミクロ領域分析方法に拡大することで、走査型電子顕微鏡の多機能性が実証されています。さらに、形態画像を観察しながら、サンプルの選択したマイクロ領域を分析することもできます。半導体サンプルホルダーのアタッチメントを取り付けることにより、トランジスタまたは積分回路のPN接合とマイクロ欠陥を、電気的な力画像アンプを介して直接観察できます。多くのスキャン電子顕微鏡電子プローブの電子コンピューター自動および半自動制御の実装により、定量分析の速度が大幅に改善されました。
