膜厚計の校正方法にはどのようなものがありますか?
膜厚計の校正方法にはどのようなものがありますか? 膜厚計の主な校正方法には、システム校正、2 点校正、鉄系校正の 3 つがあります。 通常の状況では、正確な測定には鉄ベースの校正のみが必要です。 測定器の鉄基材と測定対象物の鉄基材の磁性や表面粗さが大きく異なる場合に、測定精度を確保するためにシステムキャリブレーションを行うことができます。 次に、膜厚計の校正方法を詳しく紹介します。
(1) 鉄系校正
機器の標準母材の磁気特性および表面粗さは、試験片の母材と同様とする。 測定の精度を確保するために、試験片を測定する前に鉄ベースの校正を実行できます。
校正方法：装置の電源を入れた後、最初に測定するテストピースの露出した基板にプローブを置き、2回測定し、2回目の測定後に2回目はプローブを押しながら「CAL」キーを押します。鉄ベースの校正が可能です。 ビープ音が 2 回鳴らない場合は、操作が間違っていることを意味します。 ビープ音が 2 回聞こえるまで、上記の手順を繰り返します。
(2) 2点校正
測定中に個々の測定値のばらつきが大きいことが判明した場合は、2点校正法により調整することができます。
校正方法: 標準サンプルとして既知の厚さの試験片を測定します。表示された値が実際の値と一致しない場合は、「▲」および「▼」キーを使用して加算または減算できます。 1.「」を押し続けます。 「▲」「▼」キーを押して、表示値が実際の値と同じになるまで加算・減算を続けます。 キャリブレーションが完了すると、通常の測定が可能になります。
注: 2 点校正中に選択した試験片の厚さは、システム校正中の 5 つのサンプルの値に近づけてはいけません。そうしないと、操作が無効になります。
5 番目のサンプルのキャリブレーションが完了すると、画面に「0000」が表示され、図 A に示すようにブート インターフェイスに入ります。これで、機器はシステム キャリブレーション プロセスを完了しました。その後、DUT を調整できます。直接測定しました。
注: これら 5 つのサンプルでは、提供されている標準シート、または標準シートとして厚さが既知のサンプルを使用できます。 サンプルのキャリブレーションは小さいものから大きいものへと順番に実行する必要があり、隣接するサンプル間には一定の差が存在する必要があります。
