走査電子顕微鏡の動作原理は何ですか?
TE イメージングには透過型電子顕微鏡が使用されるため、サンプルの厚さが電子ビームが透過できるサイズ範囲内であることを確認する必要があります。 これを達成するには、大きなサイズのサンプルを透過型電子顕微鏡で許容できるレベルに変換するために、さまざまな面倒なサンプル前処理方法が必要です。
科学者が追求する目標は、サンプル表面材料の材料特性を顕微鏡イメージングに直接利用することです。
努力の結果、このアイデアは走査型電子顕微鏡 (SEM) によって現実になりました。
SEM - 観察対象のサンプルの表面を非常に細い電子ビームで走査し、電子ビームとサンプルの相互作用によって生成される一連の電子情報と、変換と増幅後の画像を収集する電子光学機器。 三次元表面構造を研究するのに有益なツールです。
その動作原理は次のとおりです。
高真空鏡筒内では、電子銃から発生した電子ビームが電子収束レンズによって細いビームに集束され、試料表面を点ごとに走査して照射し、一連の電子情報（二次電子、裏面）を生成します。反射電子、透過電子、吸収電子など）。 検出器はさまざまな電子信号を受信し、電子増幅器で増幅して、受像管グリッドによって制御される受像管に入力します。
集束電子ビームでサンプルの表面を走査すると、サンプルの各部分の物理的および化学的特性、表面電位、元素組成、表面の凹凸形態が異なるため、電子ビームによって励起された電子情報がが異なるため、イメージングチューブの電子ビーム強度が常に変化します。 最終的に、試料の表面構造に応じた画像が撮像管の蛍光板上に得られます。 検出器が受信したさまざまな電子信号に応じて、サンプルの反射電子画像、二次電子画像、吸収電子画像をそれぞれ取得できます。
前述したように、走査型電子顕微鏡は主に電子光学系モジュール、高電圧モジュール、真空系モジュール、微小信号検出モジュール、制御モジュール、微小変位テーブル制御モジュールなどのモジュールを備えています。
