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薄膜コーティングオンライン厚さ計の動作原理は何ですか

Jan 23, 2023

薄膜コーティングオンライン厚さ計の動作原理は何ですか

 

Jingpu 測定および制御薄膜コーティングオンライン厚さ計は、光学コーティング技術の原理を使用して材料の厚さを検出するオンライン厚さ測定器です。 精密スペクトル測定および制御薄膜オンライン厚さ計は、生産ラインで材料の厚さをバッチテストするためによく使用されます。 異常なデータへの対応は、自動生産における重要なリンクです。 現在、科学技術の急速な発展により、薄膜コーティングオンライン厚さ計は、生産ラインでの材料の厚さの一括検出に不可欠なツールとなっています。


現在、科学技術の急速な発展により、マシンビジョンの分野も急速に発展し、応用されています。 薄膜厚さ測定の分野では、薄膜コーティング用のオンライン厚さ計も急速に発展しました。 現在、科学技術の絶え間ない発展に伴い、厚さ測定装置の種類や技術的特徴も大幅に改良されています。 厚さゲージの応用過程では、さまざまな種類の厚さゲージを組み合わせることで、用途も大きく異なります。 無錫精密測定制御の薄膜コーティング厚さ計を例に挙げます。たとえば、精密スペクトル測定およびコーティング(膜厚)制御オンライン厚さ計は、ナノ光学干渉の方法を採用しており、未使用のコーティングと20層を同時に測定できます。同時にフィルムを作成し、その精度は 1nm と高く、従来の放射線の問題を完全に解決します。 オンライン膜厚計には、放射線、オフセット期間が長い、検出精度が低い、膜厚を検出できないという欠点があります。 精密測定および膜厚制御オンライン膜厚計は、高い検出精度を備えていると同時に、リアルタイムでオンラインで自動的に校正できるため、オンライン膜厚計の検出精度が効果的に保証されます。


薄膜コーティングオンライン厚さ計の検出原理:


特定の波長の光が異なる材料(異なる厚さ、密度、組成)を通過すると、表面と内部で複数回反射した後に形成されるスペクトル縞は完全に異なります。 システムは、受け取った反射光のスペクトルを分析します。干渉縞の特性がシステムライブラリのスペクトル曲線と照合および比較され、同時に特性曲線がシミュレーションおよびフィッティングされ、その後、異なる成分の厚さのコーティングが測定されます。オンライン。

(1) 入射光はフィルムの上面と下面で複数回反射されます。


(2) 反射光の強度は、膜の屈折率、基板の屈折率、膜厚、波長に関係します。


(3) 屈折率が既知の場合は、測定した反射光強度と波長の関数から膜厚を計算します。

 

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