膜厚計が時折不正確になる場合があるのはなぜですか?
これはかなり一般的な質問です。 機器の不正確さにはさまざまな理由があるからです。 膜厚計単体で測定が不正確になる原因としては、主に以下のようなものが考えられます。
(1) 強力な磁場の干渉。 私たちは簡単な実験を行ったことがありますが、機器が約 10,000 V の電磁界の近くで動作すると、測定が著しく妨害されます。 電磁界に非常に近い場合、クラッシュ現象が発生する可能性があります。
(2) 人的要因。 この状況は新規ユーザーによく起こります。 膜厚計がミクロンレベルの測定ができるのは、磁束の微小な変化をデジタル信号に変換できるからです。 測定中に測定器に慣れていないと、プローブが被測定体から外れて磁束が変化し、誤った測定が発生する可能性があります。 したがって、初めて機器を使用するときは、ユーザーや友人がまず測定方法をマスターすることをお勧めします。 プローブの配置は測定に大きな影響を与えます。 測定中、プローブはサンプルの表面に対して垂直に保つ必要があります。 また、マトリックス自体の磁場の干渉を引き起こさないように、プローブを長時間配置しないでください。
(3) システム修正時に適切な基板が選択されませんでした。 基板の最小ファセットは 7mm、最小厚さは 0.2mm です。 この臨界条件を下回る測定値は信頼性がありません。
(4) 付着物質の影響。 この機器は、プローブがオーバーレイ表面に密着するのを妨げる付着物質に敏感です。 したがって、プローブとオーバーレイ表面の間の直接接触を確実にするために付着物質を固定する必要がある。 体系的な補正を実行する場合、選択した基材の表面も裸で滑らかでなければなりません。
(5) 機器が故障した。 この時点で、技術者に連絡したり、修理のために工場に戻ったりすることができます。
