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電子顕微鏡の解像度が光学顕微鏡よりもはるかに高い理由

Oct 13, 2023

電子顕微鏡の解像度が光学顕微鏡よりもはるかに高い理由

 

電子顕微鏡は電子線を使用し、光学顕微鏡は可視光を使用しますが、電子線の波長は可視光の波長よりも短いため、電子顕微鏡の解像度は光学顕微鏡の解像度よりもはるかに高くなります。


顕微鏡の解像度は、サンプルを通過する電子ビームの入射角と波長に関係しています。


可視光の波長は約{{0}}ナノメートルですが、電子ビームの波長は加速電圧に関係しています。波動粒子二重性の原理によれば、高速電子の波長は可視光の波長よりも短く、顕微鏡の解像度は使用する波長によって制限されるため、電子顕微鏡の解像度(0.2ナノメートル)は光学顕微鏡の解像度(200ナノメートル)よりもはるかに高くなります。


電子顕微鏡技術の応用は、解像度が {{0}}.2 μm の光学顕微鏡と、解像度が 0.2 nm の透過型電子顕微鏡に基づいています。つまり、透過型電子顕微鏡は光学顕微鏡に基づいて 1,000 倍に拡大されています。


電子顕微鏡の解像度は光学顕微鏡よりもはるかに高いですが、いくつかの欠点があります。
1、電子顕微鏡ではサンプルを真空中で観察する必要があるため、生きたサンプルを観察することはできません。技術の進歩に伴い、環境走査型電子顕微鏡は生きたサンプルを直接観察することを徐々に実現します。


2、サンプルの処理中に、サンプルに元々存在しなかった構造が生成され、その後の画像分析が困難になることがあります。


3、電子散乱能力が非常に強いため、二次回折などが起こりやすい。


4、三次元物体の二次元平面投影画像のため、画像が一意ではない場合があります。


5、透過型電子顕微鏡では非常に薄いサンプルしか観察できないため、材料の表面の構造が材料の内部構造と異なる可能性がある。


6、極薄サンプル(100ナノメートル以下)の場合、サンプルの準備プロセスが複雑かつ困難であり、サンプルの準備に損傷が生じる可能性があります。


7、電子ビームは衝突や加熱によってサンプルを損傷する可能性があります。


8、電子顕微鏡の購入と維持の価格は比較的高いです。

 

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