電子顕微鏡にはいくつかの部分があります
電子顕微鏡は鏡筒、真空装置、電源筐体の3つの部分から構成されています。
1. レンズバレルには主に電子源、電子レンズ、サンプルホルダー、蛍光スクリーン、検出器が含まれています。 これらのコンポーネントは通常、上から下に向かって円筒形に組み立てられます。
電子レンズは電子を集束させるために使用され、電子顕微鏡鏡筒の最も重要な部品です。 一般的には磁気レンズが使用されますが、場合によっては静電レンズも使用されます。
2. 真空装置は、電子がその経路で吸収されたり偏向されたりしないように、顕微鏡内の真空状態を確保するために使用されます。 機械式真空ポンプ、拡散ポンプ、真空バルブから構成され、排気管を介して鏡筒に接続されています。
3. 電源キャビネットは、高電圧発生器、励磁電流安定器、および各種調整制御ユニットで構成されます。
