金属顕微鏡の校正プロジェクトの設立
(1) 対物レンズを取り付け、0.01mm 標準マイクロメーターを作業台に置き、しっかりと押し付けます。フォーカスノブを回してマイクロメーターの中央に焦点を調整すると、視野の中心に鮮明な画像が表示されます。このとき、ダイヤルゲージ子を作業台の表面に当て、メーターのゼロ位置に合わせてください。
もう一度回転させて焦点を合わせ、マイクロメータの端に焦点を合わせると、視野端の結像が鮮明になります。
ダイヤルゲージを観察すると、その最大オフセットが対物レンズの像面湾曲誤差となり、他の対物レンズもそれに応じて校正されます。対物レンズの像面湾曲誤差の指標は以下の通りです。 10X<0.2mm, 25X<0.1mm, 40X<0.07mm, 63X<0.065mm, 100X<0.04mm
(2) 対物レンズ倍率の正確さ: 10X 標準接眼レンズとテスト済み対物レンズを取り付け、0.01 mm 標準マイクロメーターを作業台に置き、しっかりと押し付けます。観察するとき、マイクロメーターは接眼レンズのレチクルと一致する必要があり、そのオフセット測定値が倍率の誤差となります。他の対物レンズはこの方法を使用して校正され、誤差は 5% を超えません。
(3) 接眼レンズのレチクルの精度: レチクルを備えた接眼レンズのレンズを回転し、ユニバーサル ディスプレイのワークテーブル上にレチクルを置き、焦点距離を調整します。仕切板の水平線がユニバーサルディスプレイの縦ガイドレールストロークと平行になり、ゼロ位置になるように作業台を調整します。 100 番目のグリッドまで 20 グリッドごとに測定します。誤差は 5um を超えてはいけません。
(4) 対物レンズの鮮明な画像範囲は、テストされた対物レンズと 10X 接眼レンズでマイクロメーターまたは金属組織サンプルの焦点を合わせ、鮮明な画像を確保することによって達成されます。視野の中央の画像が鮮明な場合、視野内の測定された画像鮮明度範囲の誤差は 60% 未満であってはなりません
(5) 試験機器の 10X 接眼レンズを接眼レンズを基準とした各対物レンズのグリッド値に取り付け、0.01mm 標準マイクロメーターを配置します (ランダムなマイクロメーターを使用することをお勧めします)。 0.01mmマイクロメートル）を作業台の上に置き、しっかりと押し付けます。
マイクロメータスケールの軸を機器の接眼レチクルの軸と平行になるように調整し、接眼レチクルのiレチクルラインに含まれるn本のマイクロメータスケールラインの数を読み取ります。接眼レンズに対する対物レンズの相対グリッド値は C{{0}n/i * 0.01mm です。他の対物レンズのグリッド値もそれに応じて調整されます。
