膜厚測定器 温度補償のための測定技術

Apr 06, 2023

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膜厚測定器 温度補償のための測定技術

 

膜厚計の温度補償測定方法は、温度係数校正ステップ、始動ゼロ校正ステップ、および厚さ測定作業ステップを含み、最終的に実際の膜厚dxの値を計算します。 インダクタコイルの電磁界変化と温度の相関関係を利用し、測定過程で一度無限端の値を測定し、無限端の温度変化係数は温度変化係数に比例します。測定プローブを被測定物基板に近づけて測定した場合。 この機能を利用して温度補償を実現することで、温度測定誤差を極力減らすことができます。 この方法の測定誤差は基本的に 1% 以内に抑えることができますが、現在の国家基準では 3% 以内が要求されています。 比較すると、この方法の測定誤差は 1% 以内に制御できます。 測定精度は国際ブランドの機械の測定精度に達しており、中国では依然として非常に高いレベルにあります。


デジタル膜厚計の使い方は?


1) デジタル膜厚計の電源を入れます。
ON キーを押すと、機器からビープ音が鳴り、機器番号 GO8100 が画面に表示されます。 前回シャットダウン前のパラメータ設定が自動的に復元された後、0が表示されスタンバイ状態になります。 ワークの測定が可能です。 一定期間使用しないと、機器は自動的にシャットダウンします。


2) デジタル膜厚計測定
機器は測定された基板を自動的に感知します。機器は磁性基板を感知すると Fe を表示します。 非磁性金属を感知すると NFe を表示します。 測定時は常に装置を垂直に保ってください。


3) デジタル膜厚計のゼロ校正
測定したい状態の基準ブロックにプローブを垂直に押し当て、<╳.╳μm>画面に「 」と表示され、「ZERO」キーを押すとゼロ校正が行われます。 上記のプロセス中、プローブは基板に押し付けられており、画面に (0 CAL) が表示されるまでプローブを持ち上げることはできません。 より良いゼロ点を得るには、ゼロ校正を繰り返します。
注:当社が提供するFeシートとAlシートの材質は貴社の基板とまったく同じではありません。つまり、ゼロ位置が異なるため、科学的な方法は貴社の滑らかな基板上でゼロ校正を実行することです。実際のワーク!


4) デジタル膜厚計の2点校正
4.1 最初にゼロ位置を校正します。 方法はゼロ校正と同じです。
4.2 標準フィルムブロックを基準ブロックの上に置き、その値を機器で測定します。 表示された測定値が標準絞りと異なる場合は、▲、▼を使用して測定値を修正し、標準を満たすことができます。 校正が完了し、測定を開始できます。 ▲、▼を使用して測定値を修正する場合は、プローブを持ち上げてください。

 

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