原子間力顕微鏡検査作業の効率を高めたい場合は、この一連の作業を理解する必要があります
AFM 検査手順の概要は次のとおりです。
1) システムの予熱: コントロール ボックスとコンピューターの電源を入れ、システムを安定させるために 30 分間予熱します。
2) サンプルの準備: 乾燥したサンプルを両面テープでステンレス鋼のディスクに固定します。サンプルのサイズは直径 1 cm 未満、厚さ 5 mm 未満です。
3) プローブを保護します。ダスト カバーを取り外し、顕微鏡プローブを静かに下ろし、サンプルを含むステンレス鋼ディスクをサンプル ステージに固定し、顕微鏡プローブを元の場所に戻します。 サンプルを置く前に、プローブとサンプルの間にはプローブを損傷しないように一定の距離を保ってください。
4) モードの選択、iNanoSPM オンライン ソフトウェアを開き、動作モードと倍率を選択します (通常は 5 倍を選択します)。
5) スポット調整: レーザースポットがプローブカンチレバーに収束するようにレーザー調整ノブを調整し、レーザースポットが感光性検出器の中心に収束するように感光性検出器ノブを調整します。タップモードが使用されている場合は、力が一般的にフォルマントの高さは の 1/2 ～ 2/3 に設定されます。
6) 針先アプローチ：まず、ベースの手動粗動ノブを両手で調整し（ノブが左ヘッドを下に向け、逆も同様）、針先端のレーザースポットとサンプル表面を観察します。 手動移動を停止し、モーター制御パネルの「自動移動」をクリックしてください。 （注：調整するときは前後端を傾けすぎないようにして、モーターで制御される部分を少し高くしてください。そうでない場合は、針を引き出してベースの手動粗調整ノブを調整し、上記の手順を繰り返してください。）
7) サンプルスキャン: スキャン範囲 X、Y、Z 軸範囲を設定します。サンプルが鮮明でない場合は、最良の画像効果が得られるように各パラメータを調整します。
8) 画像保存: スキャンした画像ファイルを指定した場所に保存し、画像解析ソフトウェアを使用して、3 次元画像、表面粗さパラメータなどのさまざまなパラメータを解析します。
9) シャットダウン: スキャン後、モーター制御ウィンドウの「自動ドライブ」ボタンをクリックします。 追い出す歩数が 3,000 歩に達すると停止します。 リアルタイムソフトウェアを終了し、コントロールボックスとコンピュータの電源を切り、ダストカバーを取り付けます。
