表面微小凹凸の微小干渉検出原理と干渉顕微鏡の開発状況
(1) 適用範囲の変更 表面の微細なトポグラフィーの検出に対する最も初期の需要は、機械産業における潤滑、摩擦、摩耗の慎重な制御に現れています。 多くの最先端分野の急速な発展に伴い、この需要の範囲は、X 線光学、光ディスク情報産業、マイクロエレクトロニクス、高速レーザー物理学、その他多くの分野に拡大しています。
(2) 装置の構成が変更されるまで、表面微細形態検査装置は機械式と電気式のスタイラス式を使用していました。 高精度の非破壊検査に対する要求が多くの分野で提起されるにつれ、新しい装置や新しい原理が導入されました。 装置は光学、機械、電気、計算を組み合わせたタイプです。
(3) 新しい原則の継続的な出現は、主に次のような形で現れます。
新しい干渉計形式の出現は、よく知られている Fizeau、Linnik、Michelson 形式から新しい Mirau 形式への発展を意味します。 この種の干渉計は、コンパクトな構造と優れた耐干渉性能を備えています。 これは、新しいテスト原理 VSI および FDA に適した主要な干渉計形式です。 筆者は、ミラウ顕微鏡を開発する際に次の2点を考慮する必要があると考えています。 (1) 一定の作動距離を確保するには、特別な設計が必要です。 (2) ビームスプリッタ、補償板、標準板の厚さは大きくてはならず、一般にμm 以下であるため、材料の選択とコーティングに対する要求は高くなります。 共通の光路を備えた他の形式のダイソンとノルマルスキーがあります。 分割光路干渉顕微鏡は、ダイソンやノルマルスキーなどの他の方式と比較して、高精度の標準面を使用するため精度の向上が容易ですが、環境条件（温度、振動など）に対する要求が厳しいです。 .)、通常は研究室または標準計測部門で使用されます。 一般的な光路干渉顕微鏡は、機械的振動や温度変化などの外部干渉の影響を受けにくいため、工場でのオンライン検査に適しています。
干渉テストの分野における位相シフト干渉 (PSI) の新しい原理の導入に加えて、新しいテスト原理が登場し、更新された周波数領域解析 (FDA) 原理と垂直走査干渉 (VSI) 原理も登場しました。 。 位相シフト干渉の原理と比較して、FDA と VSI は位相ジャンプのあいまいさを排除でき、マイクロエレクトロニクスおよび光ディスク情報産業の分野における溝とステップのテスト要件に適しています。 FDAやVSIと比較して、前者の位相測定法はデータ利用率が高く、高精度で干渉計光学系の色収差を除去できるなどの利点がありますが、後者はデータ利用率が低いことに加えて、次のような欠点があります。コントラストはランダムノイズの影響を受けやすいため、ランダム誤差が大きくなる場合があります:; （２）コントラストは白色光源のスペクトル強度分布に関係するため、白色光源のスペクトル強度の安定性に対する要件は比較的高い。
(4) 光源の変更は、等しい光路に基づく白色光干渉の原理を採用しています。 シップライト光源は、レーザー光源と比較して、干渉縞のノイズを除去し、測定面に正確に焦点を合わせることができ、相転移のぼやけの問題を解決できます。 広い測定範囲とより高い精度のテスト要件を必要とするマイクロ光学およびマイクロエレクトロニクスに適しています。
