膜厚計が大きな誤差値を示した場合の対処方法
(1) 強い磁界による干渉。私たちがかつて行った簡単な実験では、機器が約 10000 V の電磁界の近くで動作しているときに測定が大きく妨害されました。電磁界に非常に近い場合は、依然としてクラッシュの可能性があります。
(2) 人的要因。この状況は新規ユーザーによく起こります。膜厚計でマイクロメートル単位の測定ができるのは、磁束の微小な変化をデジタル信号に変換できるからです。測定中に測定器に慣れていないと、プローブが被測定体から外れて磁束が変化し、誤測定が発生する可能性があります。したがって、初めてこの機器を使用する前に、測定方法をマスターすることをお勧めします。プローブの配置は測定に大きな影響を与えるため、測定中はプローブをサンプルの表面に対して垂直に保つ必要があります。また、基板自体の磁場との干渉を避けるために、プローブの配置時間は長すぎてはなりません。
(3) システムキャリブレーション中に適切な基板が選択されませんでした。基板の最小平面は7mm、最小厚さは0.2mmです。この臨界条件を下回る測定値は信頼性がありません。
(4) 付着物質の影響。この機器は、プローブがカバー層の表面に密着するのを妨げる付着物質に敏感です。したがって、プローブとカバー層の表面が直接接触するように物質を付着させる必要があります。システムキャリブレーションを実行するときは、選択した基板の表面も露出し、滑らかにする必要があります。
(5) 機器が故障した場合。現時点では、技術担当者に連絡するか、修理のために工場に戻ることができます。
