電子顕微鏡画像化装置
1. 対物レンズと非点収差計
対物レンズは、結像システムの最初の結像レンズです。 電子顕微鏡の性能は主に対物レンズの光学特性によって決まります。 対物レンズの欠陥は、結像システム内の他のレンズによってさらに拡大されます。 したがって、対物レンズの収差はできるだけ小さく、倍率が十分に高いことが必要であり、通常、強い励起、短い焦点距離（1.5-3mm）、および対物レンズ絞りを備えた対物レンズが使用されます。球面収差を軽減するために使用されます。 光学的開口が小さすぎると、回折効果により対物レンズの解像度が低下し、光学エッジの汚染効果により電子ビームの干渉が強くなるため、光学的開口を小さすぎることはできません。
非点収差補正器は、対物レンズの解像度を確実に向上させるための重要な部品です。 強度と向きを調整できる磁場を使用して、非軸対称対物レンズによって引き起こされる軸上非点収差を補正します。
一般的に使用される電磁非点収差補正装置は、磁極片間のギャップの周囲に均等に設置された 4 対の電磁石からなる 2 つのグループで構成されています。 形成される２つの楕円形の補正磁場は互いに直交しており、２組の電磁石の励起強度と磁場の方向を変えることにより、非回転対称な補正磁場を形成することができる。 その強度がレンズの乱視領域と等しく、方向が互いに直交していれば、乱視を解消することができます。
2. 中間ミラーと投影ミラー
中間ミラーは、長い焦点距離と可変倍率を備えた弱い磁気レンズです。 ポールピースの内穴は大きく、倍率は0-20の間です。 倍率が 1 より大きい場合、対物ミラーを拡大するために使用されます。 倍率が 1 未満の場合、対物ミラーを縮小するために使用されます。
投影ミラーは、大きな倍率を得るために、上下対称の小口径ポールシューを使用した短焦点距離の強力な磁気レンズです。 投影ミラーには一定の励起電流があり、中央の像を拡大して蛍光板に投影する役割を果たします。
3. 3段増幅
電子顕微鏡の最高倍率は、装置の性能、写真原板（または蛍光板）の解像度などによって決まります。一般的に、二次倍率結像システムでは約1倍に拡大された電子画像が得られます。 200,000回。 対物レンズはサンプルの細部を 100 倍に拡大して対物ミラーに像を形成し、中間ミラーは対物レンズの像を 20 倍に拡大して投影ミラーに結像します。 投影ミラーは中間ミラーの像を100倍に拡大して蛍光板上に結像します。 増幅モンク数の調整は、中間インサートの励磁電流を変えることで実現できます。 中間層の励起電流を変更した後、対物レンズの鏡面が中間の取り付け面と確実にブレンドされるように、対物レンズの励起電流も適切に変更して、中心の鮮明な画像を取得する必要があります。焦点。
3段結像系では、物体の励磁電流を変えると、対物レンズの像を中間マウントの下に結像させることができます。
対物ミラーは、投影ミラーの物体面Ａ上に小さな実像として形成される「仮想物体」である。 投影ミラーは蛍光板上に結像するため、数千倍から数万倍に拡大された電子像が得られる。 この方法により生じる画像歪みは、中間ミラーの樽型歪みと投影ミラーの糸巻型歪みとを相互に補償することにより低減することができる。
対物レンズを閉じ、被写体の代わりに中間ミラーを使用して結像すると、倍率を約 100-300 プラスに下げることができ、より広い視野の画像を取得できます。
