ツールメーカーの顕微鏡の焦点と位置合わせの方法
工具メーカーの顕微鏡を使用する場合、正確な焦点合わせと位置合わせにより、同じワークピースの測定誤差は通常 1 ～ 2 μm 以内に抑えられます。したがって、測定精度を保証するには、正しい焦点合わせと位置合わせが不可欠です。適切なピント合わせと線合わせ（線押し）の方法を以下に説明します。
I. ピント合わせの方法
① まず、接眼レンズの視野内に鮮明なレチクル像が得られるように接眼レンズの視度を調整します。レチクルのラインがぼやけて見える場合は、接眼レンズの視度リングを回して、鮮明な十字パターンが見えるまで視度をオペレーターの視力に合わせます。
② 焦点調節ハンドルを使って顕微鏡本体を動かし、接眼レンズ内にワークの輪郭を鮮明に結像させます。次にXYステージを移動させて位置合わせを行います。オペレータが接眼レンズ上で目を上下左右に動かしたときに、ワーク画像と十字線との間に相対的な動きが生じなければ、ワーク画像は十字線レチクル上に正確に焦点を合わせ、測定を開始できます。相対的なずれが観察される場合、顕微鏡の焦点が合っていません。ワークピースの画像とクロスヘア レチクルを同じ焦点面に合わせるには、精密な焦点合わせが必要です。
II.線揃え（線押し）の方法
ラインアライメント（ラインプレス）とは、十字線をワーク画像の端に重ねることを意味し、エイミングとも呼ばれます。特定の工具メーカーの顕微鏡では、機器の精度は固定されています。高く信頼性の高い測定精度は、適切な位置合わせ技術に大きく依存します。位置合わせ方法には、ギャップ位置合わせと重ね合わせ位置合わせの 2 種類があります。
① ギャップアライメント法：この方法は角度測定に適用されます。角度を測定する場合は、十字の破線の 1 つを測定された角度の片側に合わせ、破線と角度の端の間に狭い均一な隙間を残します。オペレータは、このギャップの幅が一定に保たれているかどうかを確認することで、アライメントの品質を判断します。角度測定では、エッジに線を直接重ねることはお勧めできません。位置を合わせるのが難しく、誤差が大きくなります。視野内のワークエッジは無限に細い線ではなく、明暗の遷移領域であり、十字線にも物理的な幅があります。重ね合わせにより、特に短い角度の側面で顕著な位置合わせエラーが発生します。角度測定にはギャップアライメント法を採用してください。
② 重ね合わせアライメント法：長さ測定にギャップアライメントを使用すると、ギャップは定量化できず、長さ測定値に含まれるため、長さ測定誤差が増加します。長さの測定には重ね合わせ位置合わせが使用されます。十字線の破線は、線の半分がワークピースの輪郭の内側に、もう半分が外側に位置するように位置合わせされます。正確な測定結果を得るために、位置合わせは十字の破線の中心を基準に行われます (延長セグメントはガイドとしてのみ機能します)。
