従来の光学顕微鏡や電子顕微鏡と比較して、原子間力顕微鏡の分解能を制限する要因は何ですか?

従来の光学顕微鏡や電子顕微鏡と比較して、原子間力顕微鏡の分解能を制限する要因は何ですか?

従来の光学顕微鏡の分解能は光の回折限界によって制限され、最小分解距離は光の波長の半分です。 電子顕微鏡の分解能も回折限界によって制限され、最小分解能は電子ドブロイ波長の半分であるため、電子顕微鏡は従来の光学顕微鏡よりも高い分解能を達成できます。

原子間力顕微鏡の分解能は主に次の要素に依存します。プローブ先端のサイズ。 マイクロカンチレバーの弾性係数は、弾性係数が低いほど、原子間力顕微鏡の感度が高くなります。 カンチレバーの長さとレーザー光の長さの比。 スポット位置に対する検出器 PSD の感度。 特定の解像度の画像の場合、スキャン範囲が狭いほど、より微細な表面トポグラフィーが得られます。