金属顕微鏡の構成と分類
NAと略される開口数は、対物レンズと集光レンズの主要な技術パラメータであり、両方の性能を判断するための重要な指標です。その値の大きさは、対物レンズと集光レンズの筐体にそれぞれ刻印されています。
開口数（NA）は、対物レンズの前レンズと検査対象物との間の媒体の屈折率（h）と開口角の半分（u）の積です。式は次のとおりです: NA=hsinu/2
「ミラー角」としても知られる開口角は、対物レンズの光軸上の物点と対物レンズの前玉の有効直径との間に形成される角度です。開口角が大きいほど対物レンズに入射する光は明るくなり、対物レンズの有効径に比例し、焦点からの距離に反比例します。
顕微鏡で観察する場合、NA値を大きくしたい場合、開き角を大きくすることはできません。解決策は、媒質の屈折率 h 値を大きくすることです。この原理に基づいて、媒質の屈折率 h が 1 より大きいため、NA 値を 1 より大きくできる水浸レンズおよび油浸レンズが開発されています。
最大開口数は1.4で理論的にも技術的にも限界に達しています。現在、媒質には屈折率の高いブロモナフタレンが使用されており、その屈折率は1.66であるため、NA値は1.4を超えることが可能である。
開口数は他の技術パラメータと密接に関係しており、他の技術パラメータをほぼ決定し、影響を与えます。それは解像度に比例し、倍率に比例し、焦点深度に反比例します。 NA 値が増加すると、視野幅と作動距離もそれに応じて減少します。
