レーザー共焦点顕微鏡と走査型電子顕微鏡の違いを解説
レーザー共焦点顕微鏡と走査電子顕微鏡はどちらも点光源走査結像であり、走査駆動範囲を制御することで倍率を調整します。 レーザー共焦点顕微鏡はレーザーを走査することで動作し、三次元画像を得ることができます。 走査型電子顕微鏡 (SEM) は、試料表面上で微細に焦点を絞った電子ビーム走査によって励起されるさまざまな物理信号を使用してイメージングを変調します。このため、2 次元画像のみが得られますが、3 次元画像は得られません。
1. 異なる限界分解能 (異なる増幅信号ソース)
レーザー共焦点: 限界解像度は 150nm です。
走査型電子顕微鏡：20nm～0.8nm
2. 異なるスキャン駆動モード。
レーザー共焦点: レーザー回転ミラーがレーザーの走査範囲と走査速度を制御します。
走査電子顕微鏡: 電磁コイルは電子ビームの走査範囲と走査速度を制御します。
3. ステレオイメージングが異なります
レーザー共焦点：ナノ精度ステッピングモーターにより試料をZ軸方向に一層ずつ撮像し、設定した各層の画像をソフトウェアで合成して鮮明な三次元画像を生成します。
走査型電子顕微鏡 (SEM): 単一フレーム画像は被写界深度が深く、二次元画像に属します。
4、適用範囲が異なります
レーザー共焦点：数倍～数千回
走査型電子顕微鏡：数倍～数十万倍
5. 異なる労働環境
レーザー共焦点: 大気環境でサンプルをテストできます。
走査型電子顕微鏡: 高真空環境でサンプルをテストします。
