フィルムコーティングオンライン厚さ計の仕組み

Mar 22, 2024

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フィルムコーティングオンライン厚さ計の仕組み

 

JSP 薄膜コーティング用厚さ計は、光学コーティング技術の原理を使用して材料の厚さを検出するオンライン厚さ計です。薄膜オンライン厚さ計のスペクトル測定と制御は、材料の厚さのバッチテストの生産ラインでよく使用されます。厚さ測定プロセスでは、技術者または制御システムに結果を表示するためにリアルタイムで測定されます。これにより、技術者または制御システムが異常なデータにタイムリーに対応できるようになります。これは、自動化生産の重要な部分です。今日、科学技術の急速な発展により、フィルムコーティングオンライン厚さ計は、生産ラインでの材料の厚さのバッチテストに欠かせないツールになっています。


現在、科学技術の急速な発展により、マシンビジョンの分野はより速い発展と応用を遂げており、膜厚測定の分野では、フィルムコーティングオンライン厚さ計もより速い発展を遂げています。現在、科学技術の継続的な発展に伴い、厚さ計の種類や機器の技術的特徴も大幅に改善され、厚さ計の応用の過程で、さまざまな種類の厚さ計が組み合わされ、さまざまな用途に使用されています。現在、無錫静浦のフィルムコーティング厚さ計の測定と制御、コーティング(フィルムの厚さ)のオンライン厚さ計の微細スペクトル測定と制御、ナノ光干渉の使用、同時に、20層のコーティングを使用しないフィルムの同時測定、精度が1nmと高く、従来の光線クラスのオンライン厚さ計の放射、オフセットサイクル、低い検出精度に対する完璧なソリューションであり、コーティングの厚さの欠点を検出できません。 精密スペクトル測定とコーティング厚さの制御により、オンライン厚さ計の検出精度が高く、同時にリアルタイムのオンライン自動校正が可能で、オンライン厚さ計の検出精度を効果的に保証します。


フィルムコーティングオンライン厚さ計の検出原理:
特定の波長の光が異なる材料(異なる厚さ、密度、組成)を通過し、表面と内部で何度も反射した後に形成されるスペクトル干渉縞が完全に異なる場合、システムは受信したスペクトル干渉縞の反射光特性を分析し、システムライブラリのスペクトル曲線を照合して比較し、特性曲線のシミュレーションとフィッティングを行い、その後、異なる組成の各コーティングの厚さをオンラインで測定します。


(1)入射光はフィルムの上面と下面で複数回反射される。


(2)反射光の強度は、膜の屈折率、基板の屈折率、膜の厚さ、波長に関係する。


(3)屈折率が既知の場合、膜厚は測定された反射光強度と波長の関数として計算される。

 

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