これまでにない自動化された原子間力顕微鏡の導入
Park Systems が発売した NX-3DM 自動原子間力顕微鏡システムは、オーバーハング輪郭、高解像度側壁イメージング、臨界角測定用に特別に設計されています。 独自の XY 軸と Z 軸の独立したスキャン システムと傾斜 Z 軸スキャナを備えた NX-3DM は、正確な側壁解析においてノーマル ヘッドとフレア ヘッドによってもたらされる課題を克服することに成功しました。 True Non-Contact™ モードでは、NX-3DM により、高アスペクト比チップによるソフトフォトレジストの非破壊測定が可能になります。
前例のない精度
半導体の小型化に伴い、設計はナノスケールである必要がありますが、従来の測定ツールではナノスケールの設計と製造に必要な精度を提供できません。 この業界の測定課題に直面して、Park AFM は、アーティファクトのない非破壊イメージングを実現できるクロストーク除去など、多くの技術的進歩を遂げてきました。 新しい 3D AFM により、側壁とアンダーカットの形状の高解像度イメージングが可能になります。
前例のないスループット
低スループットの制限により、ナノスケール設計を生産品質管理に使用することはできませんが、原子間力顕微鏡を使用するとそれが可能になります。 Park Systems がリリースしたハイスループット ソリューションにより、原子間力顕微鏡は自動オンライン製造の分野にも参入しました。 これには、従来の真空技術よりも高い 99% の成功率を誇る革新的な磁気プローブ交換機能が含まれています。 さらに、プロセスとスループットの最適化には、完全な生データを提供するための顧客の積極的な協力が必要です。
前例のない費用対効果
研究から現実世界の生産アプリケーションまで拡張するには、ナノスケール測定の精度と高スループットをコスト効率の高いソリューションと組み合わせる必要があります。 このコストの課題に直面して、パーク システムズは、自動測定をより高速かつ効率的に行い、プローブの耐久性を高めるための工業グレードの原子間力顕微鏡ソリューションを提供しました。 当社は、速度が遅く高価な走査型電子顕微鏡をやめ、効率的で自動化された手頃な価格の 3D 原子間力顕微鏡に切り替えて、オンライン工業生産の測定コストをさらに削減しました。 現在、メーカーは新しい設計の欠陥を正確に特定するために、トレンチのプロファイルと側壁の変化を特徴付ける 3D 情報を必要としています。 モジュール式 AFM プラットフォームにより、ハードウェアとソフトウェアの迅速な交換が可能になり、アップグレードのコスト効率が向上し、複雑で要求の厳しい生産品質管理測定を継続的に最適化できます。 さらに、当社の AFM プローブは少なくとも 2 倍長持ちし、所有コストをさらに削減します。 従来の AFM はタッピング スキャンを使用するため、チップが磨耗しやすくなりますが、当社の True Non-Contact™ モードはチップを効果的に保護し、寿命を延ばすことができます。
