膜厚測定の分類と測定の原理

May 20, 2023

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膜厚測定の分類と測定の原理

 

膜厚計の分類と測定原理については、技術の進歩、特に近年のマイコン技術の導入により、磁気式や渦電流式の膜厚計は小型化、インテリジェント化、多機能化が進んでいます。機能的で高精度で実用的です。 という方向に一歩前進しました。 測定分解能は 0.1 ミクロンに達し、精度は 1% に達する可能性があり、大幅に向上しました。 適用範囲が広く、測定範囲が広く、操作が簡単で低価格であるため、産業および科学研究で最も広く使用されている厚さ測定器です。 非破壊方式のため塗膜や基板を破壊せず、検出速度が速いため、多数の検出作業を経済的に行うことができます。


コーティング厚さの測定は、加工産業や表面工学の品質検査の重要な部分となっており、製品が高品質基準を満たすために不可欠な手段となっています。 製品を国際化するために、我が国の輸出商品や海外関連プロジェクトでは被覆材の厚さについて明確な要件があります。
膜厚の測定方法には主に、くさび切断法、光学切断法、電解法、膜厚差測定法、秤量法、蛍光X線法、γ線後方散乱法、静電容量法、磁気測定法、渦電流測定法などがあります。これらの方法のうち、最初の 5 つは破壊検査であり、測定方法は煩雑で時間がかかり、ほとんどが抜き取り検査に適しています。


X線法やX線法は非接触・非破壊で測定できますが、装置が複雑で高価であり、測定範囲も狭いです。 放射線源があるため、ユーザーは放射線防護規制に従う必要があります。 X線法では極薄膜、二重膜、合金膜の測定が可能です。 線法は、原子番号が 3 より大きいコーティングおよび基板の測定に適しています。静電容量法は、薄い導体の絶縁コーティングの厚さを測定する場合にのみ使用されます。
膜厚計の測定原理と測定器 膜厚計の分類と測定原理


一。 磁気吸着の測定原理と厚さ計
磁石(プローブ)と磁性鋼間の吸引力は両者間の距離に比例し、この距離がクラッドの厚さになります。 この原理を利用して膜厚計を作ると、塗膜と基材の透磁率の差が十分大きければ測定することができます。 工業製品の多くは形鋼や熱間圧延冷間圧延鋼板をプレス加工して成形されるため、磁気式厚さ計が最も広く使用されています。 厚さ計の基本構造は、磁性鋼、リレースプリング、スケール、セルフストップ機構で構成されています。 磁性鋼が被測定物に吸着されると、その後測定バネが徐々に伸び、引張力が徐々に増加する。 引張力が吸引力よりもわずかに大きい場合、磁性鋼が引き離される瞬間の引張力を記録することによって、コーティングの厚さが得られます。 新しい製品では、この記録プロセスを自動化できます。 モデルが異なれば、範囲や適用可能な機会も異なります。
本器の特徴は、操作が簡単、耐久性があり、電源不要、測定前校正不要、低価格であることです。 作業場などの現場での品質管理に最適です。


二。 磁気誘導の測定原理
磁気誘導の原理を使用する場合、コーティングの厚さは、プローブから非強磁性コーティングを通って強磁性基板に流れる磁束の大きさによって測定されます。 対応する磁気抵抗のサイズを測定して、コーティングの厚さを示すこともできます。 コーティングが厚ければ厚いほど、磁気抵抗は大きくなり、磁束は小さくなります。 磁気誘導の原理を利用した膜厚計は、原理的には磁性基板上の非磁性被膜の厚みを測定することができます。 一般に、基板の透磁率は 500 を超える必要があります。 クラッド材料も磁性である場合、ベース材料との透磁率の差が十分に大きいことが必要です (例: スチール上のニッケルメッキ)。 ソフトコアにコイルを巻いたプローブを検査対象のサンプル上に置くと、機器は自動的に検査電流または検査信号を出力します。 初期の製品は、誘導起電力の大きさを測定するために指針ゲージを使用し、測定器は信号を増幅してコーティングの厚さを示しました。 近年の回路設計では、周波数安定化、位相ロック、温度補償などの新技術が導入され、磁気抵抗を使用して測定信号を変調するようになりました。 また、新設計の集積回路の採用とマイコンの導入により、測定精度と再現性が大幅(1桁近く)向上しました。 最新の磁気誘導厚さ計の分解能は最大 0.1um、許容誤差は 1%、測定範囲は 10mm です。
磁気原理式厚さ計は、鋼表面の塗装層、磁器、エナメル保護層、プラスチック、ゴムコーティング、ニッケルクロムを含む各種非鉄金属メッキ層、および化学石油産業向けのさまざまな防食コーティングの測定に使用できます。 。


三つ。 渦電流測定原理
高周波AC信号はプローブコイル内に電磁場を生成し、プローブが導体に近づくとその中に渦電流が形成されます。 プローブが導電性基板に近づくほど、渦電流が大きくなり、反射インピーダンスも大きくなります。 このフィードバック量は、プローブと導電性基板の間の距離、つまり導電性基板上の非導電性コーティングの厚さを特徴づけます。 このタイプのプローブは、非強磁性金属基板上のコーティングの厚さを測定するように設計されているため、非磁性プローブと呼ばれることがよくあります。 非磁性プローブは、白金ニッケル合金やその他の新素材などの高周波素材をコイルコアとして使用します。 磁気誘導の原理と比較した主な違いは、プローブが異なること、信号の周波数が異なること、信号のサイズとスケール関係が異なることです。 磁気誘導厚さ計と同様に、渦電流厚さ計も 0.1um の分解能、許容誤差 1%、測定範囲 10mm の高レベルに達しています。


渦電流の原理を使用した厚さ計は、原則として、航空宇宙車両、車両、家電製品、アルミニウム合金のドアや窓、その他のアルミニウム製品の表面塗装、プラスチックコーティングなどの表面など、あらゆる電気導体の非導電性コーティングを測定できます。そしてアルマイト皮膜。 クラッド材には特定の導電率があり、これは校正によって測定することもできますが、2 つの導電率の比は少なくとも 3-5 倍異なる必要があります (銅上のクロムメッキなど)。 鋼基板も導体ですが、この種の作業には磁気原理を使用する方が適しています。

 

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