膜厚計の温度補償測定方法

膜厚計の温度補償測定方法

膜厚計の温度補償測定方法は、温度係数校正ステップ、起動ゼロ校正ステップ、および厚さ測定作業ステップを含み、最終的に実際の膜厚dxの値を計算します。 インダクタコイルの電磁界変化と温度との相関関係を利用して、つまり、無限端での値は測定プロセス中に一度測定され、無限端での温度変化係数は温度変化係数に比例します。測定プローブが測定対象基板に近づいたとき。 この機能を使用して温度補償を実現すると、温度測定誤差を可能な限り減らすことができます。 この方法の測定誤差は、現在の国の基準である 3% 以内を基本的に 1% 以内に抑えることができます。 比較すると、この方法の測定誤差は 1% 以内に抑えることができます。 測定精度は国際ブランドの機械の測定精度に達しており、中国では依然として非常に高いレベルにあります。