レーザー共焦点顕微鏡と走査型電子顕微鏡の違い
レーザー共焦点顕微鏡と走査型電子顕微鏡はどちらも点光源走査イメージングであり、走査駆動範囲を制御することで倍率を調整します。 レーザー共焦点顕微鏡はレーザースキャンを通じて機能し、3次元画像を取得できます。 走査型電子顕微鏡では、サンプルの表面を走査する際に細かく集束した電子ビームによって励起されたさまざまな物理信号を使用してイメージングを調整します。 取得できるのは 2 次元画像のみであり、3 次元画像は取得できません。
1. 異なる限界解像度 (異なる増幅信号ソース)
レーザー共焦点: 究極の解像度 150nm
走査型電子顕微鏡: 20nm~0.8nm
2. 異なる走査駆動方式
レーザー共焦点: レーザー回転ミラーはレーザーのスキャン範囲とスキャン速度を制御します
走査電子顕微鏡: 電磁コイルが電子ビームの走査範囲と走査速度を制御します。
3. 立体映像は異なります
レーザー共焦点：ナノ精度のステッピングモーターでサンプルを駆動し、Z軸方向に層ごとに画像を描画し、設定した各層の画像をソフトウェアで合成して鮮明な3次元立体画像を生成します。
走査型電子顕微鏡: 単一フレーム画像は被写界深度が深く、2 次元画像に属します
4. さまざまな適用範囲
レーザー共焦点：数回～数千回
走査型電子顕微鏡：数倍～数十万回
5. 異なる作業環境
レーザー共焦点: 大気環境でのサンプルのテストが可能
走査型電子顕微鏡: 高真空環境でのサンプルの検査
