透過型電子顕微鏡の解像度に影響を与える要因は何ですか?

Jan 04, 2024

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透過型電子顕微鏡の解像度に影響を与える要因は何ですか?

 

光学顕微鏡では見えない 0.2 µm 未満の微細構造は、超顕微鏡的構造または超顕微鏡的構造と呼ばれます。
構造または超顕微鏡的構造。超微細構造。
構造; 超微細構造)。これらの構造をはっきりと見るには、顕微鏡の解像度を向上させるために、より短い波長の光源を選択する必要があります。ルスカは、電子ビームを光源として使用する透過型電子顕微鏡 (透過型電子顕微鏡) を 1932 年に発明しました。
電子
顕微鏡(TEM)では、電子ビームの波長は可視光線や紫外線よりもはるかに短く、電子ビームの波長と放出電圧の平方根は電圧に反比例します。つまり、波長が高ければ高いほど、波長は短くなります。現在、TEMの分解能は0.2nmに達します。


電子顕微鏡と光学顕微鏡の結像原理は基本的に同じですが、違いは前者が電子ビームを光源とし、電磁場をレンズとすることです。また、電子ビームの透過力が弱いため、電子顕微鏡検査に使用する標本は厚さ約 50nm の超薄切片にする必要があります。このような切片は超薄切片機を使用して作成されます。電子顕微鏡の倍率はほぼ 100 万倍で、電子照明システム、電磁レンズ結像システム、真空システム、記録システム、電源システムなどの 5 つの部分で構成され、さらに細分化すると、電子レンズと結像記録システムの主要部分、真空中に置かれた電子銃、スポッティングミラー、物体室、
対物レンズ、回折ミラー、中間ミラー、
投影ミラー、蛍光スクリーン、カメラ。


電子顕微鏡は、電子を使用して物体の内部または表面を視覚化する顕微鏡です。
高速電子の波長は可視光の波長よりも短く(波動粒子二重性)、顕微鏡の解像度は使用する波長によって制限されるため、電子顕微鏡の解像度(約 0.1 ナノメートル)は光学顕微鏡の解像度(約 200 ナノメートル)よりもはるかに高くなります。

 

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