膜厚計の誤差値が大きい場合の対処方法
機器の不正確さにはさまざまな理由があるからです。 膜厚計単体で測定が不正確になる原因としては、主に以下のようなものが考えられます。
(1) 強力な磁場の干渉。 私たちは簡単な実験を行ったことがありますが、機器が約 10,000 V の電磁界の近くで動作すると、測定が著しく妨害されます。 電磁界に非常に近い場合、クラッシュ現象が発生する可能性があります。
(2) 人的要因。 この状況は新規ユーザーによく起こります。 膜厚計がミクロンレベルの測定ができるのは、磁束の微小な変化をデジタル信号に変換できるからです。 測定中に測定器に慣れていないと、プローブが被測定体から外れて磁束が変化し、誤った測定が発生する可能性があります。 したがって、初めて機器を使用するときは、ユーザーや友人がまず測定方法をマスターすることをお勧めします。 プローブの配置は測定に大きな影響を与えます。 測定中、プローブはサンプルの表面に対して垂直に保つ必要があります。 また、マトリックス自体の磁場の干渉を引き起こさないように、プローブを長時間配置しないでください。
(3) システムキャリブレーション中に適切な基板が選択されませんでした。 基板の最小平面は 7mm、最小厚さは 0.2mm です。 この臨界条件を下回る測定値は信頼性がありません。
(4) 付着物質の影響。 この機器は、プローブがオーバーレイ表面に密着するのを妨げる付着物質に敏感です。 したがって、プローブとオーバーレイ表面の間の直接接触を確実にするために付着物質を固定する必要がある。 システム キャリブレーションを実行する場合、選択した基板の表面も裸で滑らかである必要があります。
(5) 機器が故障した。 この時点で、技術者と連絡を取ることも、工場に戻って修理することもできます。
2. 測定プロセス中に、測定データに明らかな偏差が生じる場合があるのはなぜですか?
測定プロセス中、プローブの不適切な配置や外部干渉要因の影響により、測定データが大幅に大きくなる場合があります。 このとき、CAL キーを押し続けると、データ統計を入力しないようにデータをクリアできます。
3. システムを調整するにはどうすればよいですか?
キャリブレーションの方法と種類は、新規ユーザーにとってよくある問題です。 システムキャリブレーション、ゼロ点キャリブレーション、二点キャリブレーションは実際にマニュアルに記載されており、ユーザーはそれをよく読むだけで済みます。 鉄ベースを校正するときは、誤った操作を防ぐために数回測定するのが最善であることに注意してください。 システムキャリブレーション用のサンプルは、小さいものから大きいものへと順番に実行する必要があります。 個々の標準品が紛失した場合でも、類似の値を持つサンプルを見つけて代替することができます。
